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[ZEUS] 프로브 스테이션 Probe station

  • 시설장비등록번호 NFEC-2013-04-178436
  • 이용 0
  • 제작사명 | 모델명

    Cascade Microtech | Summit 12000
  • 구축일자

    2013-04-26 | 광주
  • 보유참여조직

    광주과학기술원
  • 사용용도

    분석
  • 표준분류

    기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 프로브스테이션
  • 설치장소

    광주과학기술원 신소재공학동
이용료 안내
사용예
이용방법
장비설명
구성 및 성능

이용료 안내

사용/활용예

그래핀으로 구성된 터치 소자의 전기적 특성을 정확하게 분석하기 위해서는 측정 중에 N2 혹은 O2 분위기를 조성할 수 있어야 한다. 이러한 분위기 조절은 반도체의 정확한 특성을 분석 가능케 한다. 또한 동시에 온도를 조절하여 전기적 특성을 분석할 수 있으면 소자의 extrinsic한 특성을 분석할 수 있어지고 다양한 관점에서 분석을 시도할 수 있다. 이러한 연구는 그래핀 터치 소자들의 이해를 돕고 소자 특성 개선 및 새로운 소자 개발의 효율을 올릴 수 있을 것이다.

이용방법

장비설명

Probe station은 반도체 소자들에 전기적 신호를 인가 및 확인이 가능하도록 전기적 연결을 하는 장비로써 MPG (metal/piezo/graphene) 구조로 구성된 터치 소자의 전기적 특성 분석에 필요한 시스템이다. 본 장비를 도입하게 되면 작게는 1인치부터 크게는 8인치 크기의 대구경 반도체 소자를 분석할 수 있게 된다. 그래핀으로 구성된 터치 소자의 경우 ambient에 영향을 받기 때문에 ambient를 조절하며 특성 분석을 할 수 있는 시스템이 구축되어야 한다. 이와 같은 장비를 이용하면 터치 소자의 전기적 특성을 정밀하게 측정 할 수 있으며 또한 온도 및 ambient를 조절할 수 있어 반도체 소자의 다양한 특성을 분석할 수 있다.

구성 및 성능

1) Substrate : 200 mm
2) Temperature range : -60 ~ 250 deg. C
3) Ambient control : N2 O2
4) Low offset current : ~ 20fA
5) Semi-auto system

<정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr), 국가연구시설장비진흥센터(NFEC)>

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